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期刊專利論文

一種半導體制程用高潔凈度揭膜膠帶及其制備工藝

來源:互聯網2025年12月02日

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申請公布號:CN121045979A

申請人:太倉迪科力科技有限公司

摘要:本申請涉及膠粘材料技術領域,具體公開了一種半導體制程用高潔凈度揭膜膠帶及其制備工藝。一種半導體制程用高潔凈度揭膜膠帶包括PET膜層、離型層和膠粘層;離型層原料包括:含氟聚醚‑有機硅接枝共聚物、納米二氧化鈦和全氟丁基磺酸鉀;膠粘層原料包括:丙烯酸酯40‑60份、聚氨酯30‑50份、甲苯10‑20份、二異氰酸酯5‑8份、過氧化二苯甲酰3‑5份、橡膠微粒10‑20份、季銨鹽改性蒙脫土5‑9份、聚肉桂酸乙烯酯10‑20份、光引發劑1‑3份和聚乙烯醇縮丁醛3‑8份。本申請的高潔凈度揭膜膠通過設置離型層和特殊組分的膠粘層,使得膠帶同時具備高粘性、易解卷和無殘膠、高潔凈度的優點。

發明內容(節選):本申請具有以下有益效果:
1、本申請在PET膜層背面設置離型層,其含氟聚醚-有機硅接枝共聚物具有極低表面能,納米二氧化鈦與全氟丁基磺酸鉀協同作用,降低膠粘層與PET膜層粘接力,實現易解卷,同時減少膠帶在解卷時的拉伸變形,增強對品圓保護膜的粘貼牢固程度和粘貼的精度。
 2、本申請中的膠粘層以丙烯酸酯和聚氨酯為基體,兼具高粘性、柔韌性與耐磨性添加橡膠微粒增強抗變形能力。且含有聚肉桂酸乙烯酯和光引發劑,未解卷時粘性相對平均,配合離型層能夠易解卷,撕開后見光引發聚肉桂酸乙烯酯單體發生聚合反應,從而能夠大幅增強粘性,滿足膠帶高粘性的需求。

3、本申請的膠粘層中加入的聚乙烯醇縮丁醛(PVB),在接觸剝離時,因溫度變化使自身粘性下降、形成潤滑膜,減少與被粘物體的摩擦力,使膠粘劑更容易從被粘物體表面脫離,實現接觸剝離無殘膠、高潔凈度的效果。

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